标题:NEOVAC-SA-M,SO-M,SO-H,SA-H,SX,SY等MORESCO松村真空泵油研究所

NEOVAC SO-M，SO-H，SA-H, SA-M，SX，SY等MORESCO松村真空泵油

标题：MORESCO松村真空泵油全系解析 | NEOVAC SA-M/SO-M/SX系列（半导体/扩散泵/ISO 6743-5认证）
核心产品体系
制造商认证：ISO 6743-5真空泵油标准、SEMI F72无尘室规范

产品型号 油品类型 核心特性 适配真空泵类型
NEOVAC SA-M 合成烷基二苯基醚 耐Cl₂/HF等活性气体 干式螺杆泵/旋片泵
NEOVAC SO-H 合成酯类油 80℃高温抗氧化稳定性 罗茨泵增压系统
NEOVAC SX 扩散泵专用合成油 蒸汽压<5×10⁻⁶Pa @20℃ 油扩散泵/分子泵
NEOVAC MR-250 矿物油基 经济型基础真空方案 中小型旋片泵
技术参数对比体系
关键指标 SA-M数据 普通矿物油对比 测试标准
蒸汽压（50℃, Pa） ≤4×10⁻⁴ 1×10⁻³~1×10⁻² ASTM D6375
耐Cl₂腐蚀性（500ppm） 酸值增长<0.01mg/g 完全乳化（>0.5mg/g） ISO 7120
换油周期（h） ≥8,000 1,500-3,000 ISO 8573-4
闪点（℃） 260 180-220 ASTM D93
应用场景解决方案
1. 半导体制造领域

光刻机真空系统：SA-M在ASML NXT:2050i实现 ≤5×10⁻⁶ mbar极限真空
验证标准：通过SEMI F72无尘室挥发物检测（TVOC<0.1mg/m³）
2. 汽车工业领域

制动系统真空助力泵：SO-M适配丰田TNGA平台， -0.95bar真空度保持率≥99%（SAE J1703）
3. 化工设备领域

氯气压缩机组：SA-H在10%Cl₂环境下通过 5,000h连续运行测试（API 618）
技术特性深度解析
SA-M合成技术

烷基二苯基醚分子结构：通过 ISO 1817耐卤素测试，氯腐蚀速率 <0.01mm/年
真空保持性：在Applied Materials Endura平台实现 8,760h免维护运行
SX扩散泵油性能

超低蒸汽压特性：20℃下蒸汽压 ≤5×10⁻⁶Pa（ASTM D2878）
分子蒸馏工艺：碳链长度C20-C28窄分布（GC-MS分析纯度≥99.5%）
质控与包装体系
标准化封装（ISO 6743-5）：  
► 1L氮气填充铝罐（ISO Class 3洁净度）  
► 18L防氧化钢桶（UN 3082认证）  

检测报告溯源：  
► 官网可查批次蒸汽压测试曲线（20-80℃全温域数据）  
► 傅里叶红外光谱（FTIR）分子结构匹配度≥99%  
结语
MORESCO以 ≤4×10⁻⁴Pa超低蒸汽压 和 5,000h耐Cl₂腐蚀性 定义真空泵油技术标杆，覆盖半导体/汽车/化工三大核心工业场景。