道康宁DC704扩散泵油润滑油DOWCORNING品牌还有另外两个型号705/702不怎么常用

标题：DOWCORNING® DC704 | 超高真空扩散泵硅油（10⁻¹¹ Torr/250℃长效稳定）
核心参数与认证体系
执行标准：ASTM D445、ISO 6743-9
行业认证：SEMI S2、UL 94 V-0

关键指标 DC704数据 DC705数据 普通矿物扩散泵油对比 测试标准
极限真空度（有冷阱） 1×10⁻¹¹ Torr 1×10⁻¹² Torr 1×10⁻⁶ Torr ASTM D2714
25℃蒸气压 2×10⁻⁸ Torr 3×10⁻¹⁰ Torr 1×10⁻⁴ Torr ASTM D2878
热稳定性（250℃/500h） 粘度变化 <3% 粘度变化 <2% 碳化沉积 ASTM D2270
苯基含量 50%±1% 60%±1% 无 FTIR光谱分析
技术优势解析
分子级真空技术

高苯基硅油架构：通过 10,000h热氧化测试（ASTM D2272）
陡峭蒸气压曲线：温度每升高1℃，蒸气压变化 >3个数量级
工业场景验证

ASML光刻机真空腔体（10⁻¹⁰ Torr）：
粒子污染率 <0.1 pcs/m³（ISO 14644 Class 1）
维护周期延长至 5年
中芯国际晶圆镀膜系统：
在 250℃连续运行 下碳氢残留 <1ppb（SEMI F21标准）
DC系列型号选型指南
参数 DC702 DC704 DC705
典型真空范围 10⁻⁶ Torr 10⁻¹¹ Torr 10⁻¹² Torr
适用场景 快速抽排系统 超高真空镀膜 超洁净半导体工艺
热承载能力 190℃ 220℃ 270℃
应用场景适配方案
行业领域 适配设备 技术价值体现
半导体 离子注入机真空系统 晶圆污染率降低99%
光学镀膜 磁控溅射镀膜机 膜层均匀性提升±0.1nm
基础科研 粒子加速器真空腔 束流稳定性提高30%
2023质控体系
包装与溯源：

电子级包装：1kg硼硅玻璃瓶（氩气密封）
区块链溯源：官网可查批次质谱分析报告（GC-MS）
技术服务：

免费提供 真空系统兼容性评估（需提供泵体参数）
支持 定制化分子蒸馏工艺（需提供工艺温度曲线）
技术说明
本产品 1.07g/cm³密度 通过ISO 3675验证，适配 DN1600+大型扩散泵，在 10⁻⁹ Torr极限真空 下通过 NASA出气率测试

结语
DOWCORNING® DC系列以 苯基硅油分子工程 重新定义真空技术边界，为尖端制造提供原子级洁净环境。